氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的专门使用仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。是一种灵敏度较高的仪器，普遍应用于检测各种真空系统和零件的漏电，具有很好的实用价值。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在各行各业检漏中得到了广泛应用。
歌博氦质谱检漏仪是一种通过真空喷氦法、吸枪法、氦罩法、背压法等检测方法实现氦气或氢气的快速**检测仪器，适用于各种高要求的工业泄漏检测。基本操作流程如下
1. 将被检测物体内充入氦气，并确保充气充分。
2. 将检漏探头安装至泄漏口上，并打开光电倍增管供电开关。
3. 氦气通过泄漏口泄漏出去，与空气混合形成漏气空气混合物。
4. 检漏探头吸入漏气空气混合物，并通过真空系统抽取样气进入质谱分析仪。
5. 质谱分析仪将氦气特异地分离出来，并通过光电倍增管检测氦气的信号强度。
6. 当检测到氦气信号强度超过预设阀值时，表示存在泄漏，检漏仪会发出声音或闪光报警。
通过这种方法，氦质谱检漏仪可以检测各种形式的泄漏问题，包括压力泄漏、真空泄漏和液体泄漏等。由于氦气的特性，检测灵敏度高、响应速度快，因此被广泛应用于各种工业制造和化学实验中。
主要配置:
涡轮分子泵(德国莱宝、普发)
前级泵(德国莱宝)
粗抽泵(英国爱德华)
校准漏孔(有计量校验证书)
质谱分析室(歌博)
控制电路(歌博)
仪器的使用条件
境温度: +5°C~ + 35%C
环境相对湿度: 50~ 80%
供电电源: 220V + 22V,功率约为1KW :
仪器附近无强电磁场干扰
氦质谱检漏仪部分参数（仅供参考）
仪器的启动时间:不大于5min
zui小可检漏率:优于5x10-13Pa ~ m3/s
反应时间:不大2s
质谱室允许I作的zui高压强: 1x10-2Pa
测试口允许工作的zui高压强: 1000Pa
仪器的重量:约70Kg 1110