氦质谱检漏仪是真空检漏领域不可缺少的技术。该设备具有泄漏检测效率高、操作简单、仪器响应灵敏、精度高、不易受其他气体干扰等特点。该仪器已广泛应用于电力行业的泄漏检测。
目前氦检漏较为常用的方法有如下
1、喷氦法
这是用于检测待连接到仪器的设备相对较小部分的较常用方法，在良好真空后，使用喷枪在被测设备可能存在泄漏的地方（例如密封接头、焊缝等）喷射氦气。如果被测设备的一个部分存在泄漏，当氦气喷射到泄漏处时，氦气立即被吸入真空系统，当气体分散到质谱仪室中时，氦气泄漏检测器的输出将立即响应。以这种方式，应当注意，氦是一种轻惰性气体，在被喷射后自动上升，为了准确地将氦喷射到泄漏孔中，应当从上到下和从近到远（相对于检漏器位置）喷射氦。此外，泄漏孔与质谱仪室的反应时间不同，因此，氦注入应从靠近检漏仪的一侧开始，并从近到远进行。
当检测较大的零件时，使用机械泵进行真空预抽可以提高泄漏检测的效率和时间，当有许多密封和焊缝并且它们挤在一个小容器中时，由于氦注入后的快速扩散，不容易准确确定泄漏位置，因此我们应该从不同角度喷射氦，仔细观察反应时间和泄漏的差异，发现用真空密封泥浆临时密封，等等，可以将泄漏孔一个接一个地出来。
2、吸氦法
吸氦法主要用于检查一些大型密封容器。例如，弹体、弹头、气罐、油箱等，首先将容器抽真空，然后填充氦气（为了节省氦气量，可以使用低浓度氦气），将橡胶管连接到氦质谱检漏仪的入口法兰，橡胶管的前端设有一个直径非常小的毛细管，使毛细管在焊缝和待检充氦容器外壁的密封接头等处移动，如果容器发生泄漏，泄漏的氦气将被吸入毛细管，检漏仪将作出响应。
3、背压法
压氦：被检件置于压氦罐中
净化：使用高压氮气或压缩空气吹除被检件表面附着的氦气
检漏：把被检件放入与检漏仪相连的检漏罐内进行检漏
方法特点：高灵敏测试密封部件漏率的唯一解决方案、高重复性
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