碳化硅晶体厂家 导电型碳化硅晶棒工厂
苏州恒迈瑞材料科技有限公司生产供应碳化硅晶体,导电型碳化硅晶棒。
碳化硅材料具有优良的热学、力学、化学和电学性质, 不仅是制作高温、高频、大功率电子器件的优质材料之一,也可以用作基于GaN的蓝色发光二极管的衬底材料。苏州恒迈瑞公司目前用于衬底的碳化硅以4H为主,导电类型分为半绝缘型与N型。
在第三代半导体产业链中,主要包括衬底生长、外延生长和器件研发制造三大环节,而无论是碳化硅还是氮化镓器件,两者都需要碳化硅衬底,然后再进行外延生长(在衬底上淀积不同的单晶)和器件制造。
也正是由于不同的应用领域,需要两种不同电学性能的碳化硅衬底。一类是具有高电阻率(电阻率≥105Ω·cm)的半绝缘型碳化硅衬底,其在外延生长时需要淀积氮化镓单晶,制造的器件主要用于射频器件。