温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，苏州净化工程，特别 是怕钠的半导体车间，净化工程公司_，这种车间不宜超过25度。
无尘车间净化技术
该净化车间的空气悬浮粒子不大于规定数值。要实现这一点，净化工程，首先要对极大量的送风经高效过滤。这种送风的目的在于：(1)过滤室内人员和设备散发出的粒子和细1菌;(2)向房间加压，确保颗粒大的空气不会流入无尘车间。其次，净化工程安装，无尘车间的建筑材料不产生尘埃粒子且便于清洁。最后，无尘车间人员使用洁净服，使他们散发的粒子和微生物最少。这些措施及其他使用洁净无尘室引入、产生、滞留的污染降至最少的类拟措施。无尘车间还可以控制温度、湿度、声音、照明、振动。但这些特性并非无尘车间所专有。
无尘车间之构成结构无尘车间主要由以下系统构成:空气净化系统、消防系统、人1流物流系统、工艺管道系统、动力系统、照明系统以及维护结构及静电地面处理等系统。空调净化系统工程包含整个设备、器材的配套和建筑安装。
净化原理：1气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高1效净化风口→吹入房间→带走尘埃细1菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。
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