该标样用于扫描电镜（包括电子探针等）仪器主要性能的校验和检验，如图像的放大倍率检验与调整、扫描图像畸变的调整、像散调节以及样品台的复位检验等，是扫描电镜仪器验收、仪器年度检验、计量认证、实验室认可等考核中需要的标准样品。同时，该标准样品也是扫描电镜微米纳米长度**测量的标准样品、是微米长度测量的高可溯源级别的量值传递工具。是多个国家标准文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等实施所需的标准样品。
用途：
(1)可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正，是校准从10×~100,000×范围的图像放大倍率的有效的图形标准样品
(2)可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验，是评价扫描电镜图像质量的个重要工具
(3)可直接用于同一量级物体长度的**比对测量
(4)对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用
(5)利用标样上的“点子”图像，可对电子束作漂移检验和样品台复位检验
标准样品的形状、规格和包装：
S1000微米一亚微米级系列标样，总体为5mm×5mm0.5mm(长×宽×厚)大小的小方块。主体图形为一个“回”字形的方框，*外框边长约为2mm,内框的边长约为12mm,内框里面用X、Y轴分为4个象限，X、Y轴上制作有垂直坐标轴方向的线距20um的短平行线条，4个象限上分别是线距为40um、20um10um的方格网状图形和线距为5um的X、Y双向平行线条图形，内框的中部又是“回”字形的方框，大框的边长约为160m,小框边长约50um,大框和小框之间在X方向和Y方向上都有线距为5um的平行线条，小框里面是线距为1um或05um的X、Y双向平行线条图形(见图1)，在5m和1um或05um的线距结构上还有一些十字形和圆点，可用于在较大放大倍率下图像的聚集和像散调整，不同的线距大小可用于从10×~10000放大倍率范围的校准，而把40um、20μm和10um的线距结构设计成方格形，是为了在对放大倍率进行准确校准的同时，可以对图像的畸变、像散等进行校验，5μm的线距结构也同时具有X、Y两个方向的平行线条，是为了方便同时对X、Y两个方向进行放大倍的准而不必机械旋转标准器。
标准样品的稳定性：
标准样品基质材料为单晶硅或石英玻璃基片，材料性质稳定。在对标准样品进行观察时，可看到标准样品具有良好的导电性，并且在扫描电镜下所产生的图形具有很好的对比度，在扫描电镜下或光学显微镜下进行多次长时间的观察后，未见标准样品图形或线距结构发生变形或其他损坏，即标准样品在电子束重复照射下是稳定的。
