ENI OEM-12AL-21311-0223上电报警输出不够故障维修
服务品牌：
AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，
HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。
ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。
维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、
射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。
温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等
其每秒改变小于1000次的沟通电称为低频电流，大于1000次的称为高频电流，而射频便是这样一种高频电流。射频电源匹配器维修 型号OEM-6A-11491-51 品牌 ENI
射频电路指处理信号的电磁波长与电路或器材尺寸处于同一数量级的电路。此刻因为器材尺寸和导线尺寸的关系，电路需要用分布参数的相关理论来处理，这类电路都可以认为是射频电路，对其频率没有严格要求，如长距离传输的沟通输电线(50或60Hz)有时也要用RF的相关理论来处理