2.1 真空沉积腔体：具有观察窗，手动开门设置方便取样和
进样。
2.2镀膜机与手套箱的连接方式： 要求镀膜机位于手套箱外
（背后），蒸发室在手套箱内有方形门，可实现样品由手套
箱内直接传进蒸镀室。要求蒸镀室与箱体之间无泄漏，蒸
镀室口与手套箱接口密封良好、耐用，无泄漏。
2.3要求蒸发室在手套箱外另有一个门，手动开门设置，便于
清理和维修操作。
2.4 蒸发源4套：可蒸发金（Au）、 银（Ag）、铬（Cr）、钛（Ti）、
铝（Al）、铂（Pt）、氧化钼（MoO3）和LiF等材料。蒸发
源相关的其他要求如下： （1）蒸发电极可加载蒸发舟
或者钨篮，配备标准钼舟及钨蓝各10个。 （2）蒸发电
源1套，可转换供四套蒸发源使用，可在一次抽真空操作
后实现4种材料的顺次蒸镀，既可连续蒸镀4层不同材料。
2.5 真空获得系统：预抽机械泵1个，分子泵1个以及相应的
附件，分子泵水冷系统；分子泵与沉积室之间具备闭锁条
件。
2.6升降样品架。
2.7真空测量系统。
2.8膜厚测试系统。
2.9工作台：含真空计，蒸发源电源和相应控制系统，加热源
控制系统，膜厚测量系统，总电源控制区。
