国标标准：GB/T 34085《电子工业用气体三氟甲烷》测试

发布日期：2023-11-23 04:01 编号：12394821 发布IP：119.136.122.170

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国家标准编号	国家标准名称	实施日期
GB/T 34085-2017	电子工业用气体三氟甲烷	2017/11/1

本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

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http://c.gb688.cn/bzgk/gb/showGb?type=online&hcno=01D2B49759E02243C6C9C741F10C3DAC

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