实验室气路安装设计2
2、气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，实验室气路改造设计安装，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体泄露时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。
3、实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，实验室气路设计规范，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。
管道置换用什么材质
管道所用材质取决于使用工况。
两方面
1，氮气温度和压力:如果是常温氮气瓶，那就不考虑温度了，如果是液态氮汽化后的气体，需要考虑进口温度和天气状况，实验室气路设计，这个控制的不是那么精准，会有误差。另外就是压力:pe管材承受压力范围我不清楚，但肯定不如无缝钢管，常温氮气瓶压力很高的。
2，使用工况，这个管子在什么环境下使用？设计使用年限？承重吗？潮湿吗？对卫生有要求吗？等等。
综合来说不锈钢无缝管基本在各个方面都比pe管有优势，缺点也很明显就是价格贵，不过一般都是使304材质不锈钢管作为气体传输管道。耐压，耐低温，耐一定高温。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，实验室气路设计，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
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