根据加工方法的机理和特点，超代加工方法去除加工，结合加工和变形加工三大类。
1、去除加工。又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，是传统的机械加工方法，如车削，铣削，磨削，研磨和抛光等，以及特种加工中的电火花加工和电解加工等，均属这种加工方法。
2、结合加工。利用物理和化学方法，将不同的材料结合在一起。按结合的是机理，方法，强弱等，它分为附着，注入和连接三种。
3、.变形加工。又称为流动加工，利用力，热，分子运动等手段，是工件产生变形，改变其尺寸，形状和性能。
超精加工过程可分为4个阶段:①开始时油石磨掉粗糙凸峰的强烈切削阶段；
②工件粗糙层被磨除后的正常切削阶段；
③磨粒变钝，其作用是由切削过渡到摩擦抛光的微弱切削阶段；
④油石和工件已很光滑，接触面积大大增加，因而压强下降，磨粒已不能穿破油膜与工件接触，于是进入停止切削阶段。
