热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。
应用领域
● 氧气、氮气、氢气、及多组分气体测量。
● 高炉煤气、焦炉煤气测量。
● 烟道气测量。
● 沼气、水处理中的曝气和测量。
● 压缩空气测量。
● 天然气，液化气，火炬气，等气体流量测量
● 电厂高炉的一次风、二次风流量测量
● 矿井下通风或排风系统流量测量
●燃气过程中空气流量测量
●烟囱排出的烟气流量（速）测量（CEMS）
●煅烧炉烟道气流量测量
●水泥卷烟、玻璃厂生产过程中气体流量测量
●溶剂回收系统中气体流量测量
●半导体芯片制作过程中气体流量测量
●啤酒生产过程中二氧化碳气体流量测量
●加热通风和空调系统中的气体流量（速）测量
●燃煤锅炉中燃烧气体流量测量
●矿井下通风或排风系统中流量（速）实时检测
热式气体质量流量计的工作原理是基于热扩散原理的流量仪表。即是利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量成一定的比例关系。具体来说，该流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，流体流过时，两者之间的温度差与流量的大小成非线性关系，该仪表就可以把这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
■利用热扩散原理制造的流量计有两种设计方法：一是：基于恒温差原理；二是基于恒功率原理。基于共同的数据模型：P/△T=A+B（Q）N。其中：P---耗散功率，△T---两个传感器之间的温差， Q---质量流量，N---指数系数，A、B是与气体的热性能有关的系数。
■恒温差原理：△T保持不变，耗散功率P与流体的流量Q成指数函数递增的关系。
■恒功率原理：耗散功率不变，温度差△T与流体的流量Q成指数函数递减的关系。
上海有恒热式气体质量流量计技术参数
1、测量范围：0.5—100Nm/s （20℃，101.33KPa）
2、准确度: ±1%的读数 ±0.5%满量程
3、量程比：通常100：1（取决于标定流量的范围）
4、管径范围: 15mm～6000mm
5、应用范围: 适合各类单一或混合气体。含尘、含沙、含湿气、各种腐蚀性气体
6、环境温度范围: -40℃～+85℃(无显示); -30℃～+70℃(有显示); 湿度小于90%RH
7、介质温度范围: -40℃～+100℃；-40℃～+200℃； -40℃～+450℃；-40℃～+510℃
8、传感器直径：ф3、ф2.5
9、插入式传感器探杆直径：ф19（标准）、ф16、ф12
10、传感器材质：316不锈钢、哈氏合金、钛
11、探杆材质（保护套）： 316不锈钢（标准）、哈氏合金
12、双向测量介质流量
13、模拟量输出：流量：4-20mADC, 温度：4-20mADC, 较大负载:1000Ω
14、累积脉冲量输出
15、键入12段非线性修正，内置10段非线性修正
16、通讯：串口输出RS232/RS485
17、供电电源：24VDC/600mA；220VAC/2W；110VAC/3W
18、报警：1－2路继电器输出、5A/220V、5A/30VDC、键入设定
19、大屏幕LCD显示：七位瞬时流量，八位累积流量
20、过程压力:1.6Mpa（较大20MPa）
21、安装工艺形式：插入式（卡套、卡套＋球阀、法兰连接）
