随着半导体工业的飞速发展， 碳化硅晶体在此领域得到广泛应用 ，金刚石线母线， 切片是芯片制造的一道重要工序， 其加工质量直接影响到后续加工及器件的性能。
碳化硅晶体硬度高， 仅次于金刚石，金刚石线公司， 属于难加工材料， 选择合适的加工方式及工艺参数对提高碳化硅晶体加 工效率及质量有重要意义。为此， 我们利用环形固结金刚石线锯锯切碳化硅这一技术， 该技术具有切缝窄、效率高、切片质量好和能加工大直径工件和硬度高材 料等优点， 逐渐应用在硬脆材料的切割工艺中。
锯丝供应商
随着锯丝线速度的增大，表面粗糙度值减小。这是因为锯丝速度增加使得单个磨粒的切削深度减小，这样单个磨粒的材料去除率减小，表面质量得到改善。但是随着线速度的增大，锯丝振动也越来越大，当线速度超过３０ｍ／ｓ时，金刚石线，工件处锯丝振幅约为０．３ｍｍ，张紧轮处锯丝振幅约为０．５ｍｍ，显然对锯丝的工作寿命造成一定程度的影响。
随着工件进给速度的增大，表面粗糙度值增加。造成这一现象的原因是工件进给速度的增大使得锯丝与工件之间的作用力增大，这样就增加了单个磨粒的切削深度，表面质量降低。
金刚石线加工和硬脆材料亚表面损伤研究现状
台湾科技大学Chung Chunhui[58]通过模拟计算发现金刚石颗粒在锯丝上随机分布，底部的磨粒切割深度大于侧壁的切割深度，但少量尺寸较大的侧壁金刚石颗粒会在已加工表面产生较大的裂纹深度，金刚石线用途，影响着切割表面质量。同时利用计算机技术模拟锯丝切割过程，研究表明增加锯丝切割速度不仅能提高切割效率，而且能提高切割表面质量。金刚石镶嵌位置对加工结果也有影响。Sindy Würznera[59] 用拉曼显微镜测量非晶区的分布。
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