四种常见的真空镀膜材料
1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5，五氧化二铌Nb2O5，五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3，氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。
3.其它化合物：硫化锌ZnS，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅SiC，钛酸镧LaTiO3，钛酸钡BaTiO3，钛酸锶SrTiO3，钛酸镨PrTiO3，等真空镀膜材料。
4.金属镀膜材料：高纯铝Al，高纯铜Cu，高纯钛Ti，高纯硅Si，高纯金Au，高纯银Ag，高纯铟In，高纯镁Mg，高纯锌Zn，高纯铂Pt，高纯锗Ge，高纯镍Ni,高纯金Au，金锗合金AuGe，金镍合金AuNi，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl，锌铝合金ZnAl，铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。
国内真空镀膜机械的发展
我国镀膜市场一直在扩大需求，行业的高速发展同时也带动真空设备行业的发展速度。每年我国都需要进口大量的镀膜真空设备，这些设备工艺技术比较高，可靠性强，价钱也非常之高，不可否认的是这些设备大大提高了我国部分的镀膜企业的生产水平，使之达到发达国家水平；
国内的真空设备也相对引进先进技术取得了巨大进步，真空镀膜设备已经达到较高水准，完全能够满足一般企业的需求，部分实力厂家产品更是销往全球，譬如汇成真空。
整个镀膜行业被物理和化学镀膜占据，他们的发展左右着我国整个镀膜行业的发展，而随着环保的提倡，化学镀膜渐渐减少，环保物理镀膜占据更多江山，镀膜真空设备成为了这个行业发展的指标，政策对环保设备的大力支持未来真空设备的发展将更加广阔。
真空镀膜的过程中产生的斑点如何处理？
针对喷点、潮斑(花斑)的成因,在生产中采取了以下一些措施以消除喷点、潮斑(花斑):
1、选择可靠的材料供应商,并对购买的每批材料在投入使用前先做一测试,判定材料的可靠性。
2、规范材料的领用、保管,(干燥缸,干燥剂)保证材料不受潮,材料性质无变化。
3、规范镀膜操作,严格执行预熔、蒸镀的操作规程。蒸镀前的材料预熔一定要彻底,镀制某些较厚的膜层时可以采用多次预熔的方法消除喷点。
4、规范清洗操作,加强清洗后的检查,提高清洗质量,消除因清洗而产生的潮斑(花斑)。
5、调整烘烤温度,消除烘烤原因产生的潮斑。
6、规范镀膜夹具的管理。每次投入使用前,夹具需要先经过清洗、烘烤(300度,3小时以上)才能投入生产。
7、设计镀膜夹具时,尽量采用在真空室内放气量小的材料,同时可采取夹具表面镀Ni的方法降低夹具的放气量,消除由此产生的潮斑(花斑)。