在设计和规划净化车间时，如何以小的投入实现大的效益，一直是净化车间工程设计师非常看重的问题。净化车间设计方案的优化再优化，更多的是考虑在洁净工程成本核算的控制上，如何有效的控制洁净工程的成本呢？净化车间洁净工程设计过程至关重要。洁净室洁净度的等级，净化工程用料，厂房净化公司，空调系统，无尘室围护结构，地板工程都是影响净化工程造价，洁净室造价，净化车间造价的主要因素。洁净厂房净化工程造价应该重视源头，加强净化工程设计环节的控制：
基础的承受能力按大于机组总重量的1.2倍进行考虑，厂房净化安装，务必注意承载体的强度和可靠性，江城厂房净化，否则将有重大隐患；基础高度应高于机房地平面200-300mm，小型号机组基础取小值，机组外形尺寸长宽各大于机组外形尺寸长宽50-100mm；基础表面应平整、光洁，厂房净化设计，其对角线水平误差以不超过5mm为宜，如基础不水平，可能会导致冷凝水排放不畅，造成漏水；对于安装在地面上的机组，为减少机组振动的传递，建议在机组底座下放置减振胶垫。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本很低，洁净度安全性很高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
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