ADTEC射频电源维修AX-2000III/3000/600III镀膜等离子电源
如果仍然没有明显的问题,你可以试着检查一段时间内PSU的输入和输出波形。这可以告诉你,故障是在交流射频电源,而不是PSU。还是没问题?然后,您需要检查射频电源(PSU)的DC输出电压,方法是将一个夹子放在AEDC射频电源导线上,并将夹子连接到示波器的通道A。然后将通道B连接到射频电源的DC输出电压。您可以绘制输出电流和电压随时间的变化曲线。
考虑到负载电流可能会在不同时间超过射频电源的大额定值,因此会将其断开。接下来,考虑什么可能会消耗太多电流。或者,也许你只是需要一个更大的AE射频电源!如果你做了所有这些,但仍然停滞不前,那么是时候寻求一些帮助了!