大炉膛高温节能马弗炉高温炉的操作规程1准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,检查密封性是否正常e,准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2开炉a,打开主电源开关b,向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板c,将输送车开关打至OUT，依次操作按钮，取出。石墨坩埚，依次放置于石墨推车上输送车开关.d,清炉清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。b、拔出限位杆，输送车开关打至IN，依次操作。将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板。
拧紧石墨螺栓，关紧炉门4抽气a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封b、置DP按钮于DPON，打开干式真空泵，打开真空计开关P1G1，打开干式真空泵。阀门，开始抽气测试泄漏率，c、当压力表指示为50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。d.加热先打开水环泵再按RUN，开始工艺加热。5.冷却a、加热结束后，按工艺条件进行冷却；b、炉内温度降低至200℃以下，压力达到一个大气压后才可打开炉门，继续冷却。c、完全冷却至室温后，将输送车开关打至OUT，依次操作按钮。取出石墨坩埚，取出硅料，并进行分装。d、清扫炉体后关闭炉门，将炉体抽成负压。e、清理并妥善放置其它物件。
规格参数：
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型号 |
AS-1000 |
AS-1200 |
AS-1400 |
AS-1600 |
AS-1700 |
AS-1800 |
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温度参数 |
1000℃ |
1200℃ |
1400℃ |
1600℃ |
1700℃ |
1800℃ |
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电压AC |
220V/380V |
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额定温度 |
1000℃ |
1200℃ |
1400℃ |
1600℃ |
1700℃ |
1800℃ |
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长期工作温度 |
950℃ |
1150℃ |
1350℃ |
1550℃ |
1650℃ |
1700℃ |
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炉内温场均匀性 |
±5℃（根据加热室大小而定） |
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测温元件及测温范围 |
镍铬镍硅K测温范围0-1300℃ |
镍铬镍硅K测温范围0-1300℃ |
铂铑铂S |
铂铑铂B |
铂铑铂B |
铂铑铂或者光纤红外测温 |
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程序曲线段 |
30段 |
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升温速度 |
1℃/h-40℃/min，建议20℃/min |
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发热原件 |
HRE电阻丝 |
HRE电阻丝 |
硅碳棒 |
1700型硅钼棒 |
1800型硅钼棒 |
1900型硅钼棒 |
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保温材料 |
进口高纯氧化铝纤维板 |
进口高纯氧化铝纤维板 |
进口高纯氧化铝纤维板 |
进口高纯氧化铝纤维板 |
进口摩根轻质材料 |
进口摩根轻质材料 |
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冷却方式 |
双层炉壳，风冷 |
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炉体温度 |
≤50度 |
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