沸石浓缩转轮焚烧法也是目前被集成电路企业所广泛采用的有机气体处理方法。有机废气进入沸石转轮，转轮上的沸石吸附了废气中大部份有机成分，而使废气中有机成分的含量大幅低降低而成为较干净的空气，一部分较干净的气体排放至大气中，而另一部份气体则进入再生区，经再生区后的废气则含有高浓度的有机成分，这样可降低后续处理程序的操作成本。利用沸石浓缩转轮将大风量低浓度的废气浓缩为小风量高浓度，再以直热式(燃气式焚化的方式，将有机成分转化为无害的CO：和水，以达到去除有机物的目的。沸石转轮浓缩燃烧系统的特点是可以进行动态吸附和解析，不存在吸附剂的饱和问题，适当的调整转轮的转速，再生温度、风量等，可得到相当良好的效果，对于有机成分的去除率在90％左右，浓缩倍数可达5-20。
催化剂表面结炭在实验室中通常采用模型反应来评价
催化剂表面结炭
在实验室中通常采用模型反应来评价催化剂性能，工业有机废气治理公司，如、、等等，也可以采用混合溶剂来测试催化剂的性能，一般很难观察到表面积炭。然而在实际使用中，VOCs的组分非常复杂，工业有机废气治理工艺，有大分子的，小分子的，有高沸点的，低沸点，挥发性有机物的性质差别很大。还含有少量的漆雾、粉尘等物质。特别是漆雾和高沸点有机物的存在，使得在催化剂表面形成结炭，结果使得催化剂活性的下降。因此在催化剂设计中，要添加阻止催化剂表面结炭的元素，以提高催化的使用寿命。对于高漆雾的有机废气，在催化床前段应增加除漆雾设备。
VOCs废气中的粉尘
如果VOCs废气中含有较多粉尘，由于通过催化剂的气流速度快，一方面粉尘摩擦催化剂表面导致催化剂表面活性物质的流失，承德工业有机废气治理，另一方面也有可能沉积在催化剂表面。这两个因素均会导致催化剂活性下降。因此对于高粉尘有机废气，在设备前端应该添加除尘设备。
有机废气主要有吸收法、吸附法、焚烧法、生物法等处理技术。吸收法是利用有机气体水溶性的特性，且添加次或等氧化剂，将有机废气中的有机气体去除。此方法因添加氧化剂不但处理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍应用。生物处理法是利用微生物的代谢作用，将污染物分解成无害物质。生物处理法运行费用低，二次污染小，但处理条件严、持续时间长，占地面积大，故实际应用较少。焚烧法是利用高温焚烧过程将有机废气转换成CO2与H2O，根据废气的焚烧温度可分为750摄氏度-850摄氏度的焚烧化与350摄氏度～450摄氏度触媒焚化二类，因触媒式易造成触媒毒化，工业有机废气治理厂，故很少采用这种方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面积的吸附剂，将废气中的有机气体分子分离，而净化有机废气。适用于集成电路产业的有机废气处理方法有吸附法和焚烧法。
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