一、中小型工业用高纯水设备概述
中小型工业用高纯水设备主要用于制取高纯水，该设备整体采用反渗透设备和二次除盐设备，设备的出水水质可以达到10-18.2MΩ.CM。中小型工业用高纯水设备被广泛应用于半导体工业、微电子工业、制药行业等领域。
二、中小型工业用高纯水设备性能优势
1、可连续，稳定地生产高品质纯水，无需因树脂再生而停机。
2、无污染物排放，既环保又省去了废液处理的投资。
3、设备结构紧凑，占地面积小，节省空间，同时还具有节能优点。
4、出厂完成装置调试，现场工作量小，上岗培训容易。
5、日常保养，操作简单，劳动强度低。
6、脱盐率大于99.9%，效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。
三、中小型工业用高纯水设备的工艺流程
电子行业制备高纯水的工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→抛光混床-紫外线杀菌器-终端精密过滤器→用水点
四、三种制备工业用高纯水的工艺比较
目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：
1、一种采用离子交换树脂其优点在于初期投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
2、二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。
3、三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初期投资相对以上两种方式过于昂贵。