应用：
适用于独立的应用和集成在工业，分析、汽车生产、医疗系统上的应用
特性:
1.配有RS-485全双工通讯接口
2.紧凑的外形尺寸
3.快速的稳定时间
4.的重复性和精度
5.坚固的设计
6.高量程比
7.的长期稳定性
| 参数 | 单位 | 典型值 |
| 流量范围 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
| 目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
| 流量精度0-10% | % F.S | 0.2（250sccm,N2,4bara） |
| 流量精度10- | % O.R | 1（250sccm,N2,4bara） |
| 传感器响应时间 | ms | < 4 |
| 供电电压 | V | 24 |
| 模拟量输出 | V | 0…5 |
| 数字量输入输出 | RS-232 EIA | |