氦质谱检漏仪工作原理真空检漏仪行业应用检漏仪介绍氦检设备厂家

发布日期 :2021-01-05 15:21 编号:7032374 发布IP:36.5.74.113
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安徽博为光电科技有限公司  
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博为氦检
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1.0×10-3—1.0×10-13Pa•m3/s
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65kg
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氦质谱检漏仪介绍

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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常用名词解释:

漏率:测量单位Pa·m3/s:表示每秒向体积为1m3的容器充入1Pa的压强。一个漏孔漏率大小与温度、压差、气体种类有关。 科学计数法:用指数形式表示数值,如1.7E-8表示1.7×10-8。

可检漏率:在工作条件下,以一个大气压的纯氦作为示漏气体,检漏仪能检出的漏孔。

反应时间:检漏仪显示值上升到大值的0.63倍时所需时间。

氦本底:由于被检件和检漏仪中残余氦气不能及时清除,造成的本底信号。  

检漏口压强:检漏仪内检漏阀开启所需要的压强条件。

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氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为10-9~10-12Pa·m3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声显著减小。其灵敏度可达10-14~10-15Pa·m3/s,适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点。适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pa·m3/s。

氦质谱检漏仪检漏方法

氦质谱检漏方法常见的有真空法检漏、真空压力法检漏、正压法检漏以及背压法检漏四种检测方法,这四种氦质谱检漏法的检测原理不同,检测的优缺点及检测的标准也有所差别。

 检漏仪用途

氦质谱检漏仪应用领域

氦质谱检漏仪应用领域比较广泛,涵盖了航空航天/电厂电力/分析仪器/汽车制冷/工业/仪器仪表/压力容器/半导体/阀门/管路管道/包装/新材料/新能源/真空炉/真空镀膜等行业。

氦质谱检漏仪厂家介绍

安徽博为光电科技有限公司是一家集自主研发、生产、销售的氦质谱检漏仪企业,年产量可达1000台以上,客户遍及全国各地,应用领域涉及近百种行业。

氦质谱检漏仪主要技术参数
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可检漏率:5×10-13Pa•m3/s

漏率显示范围:1×10-3—1×10-13Pa•m3/s

启动时间:≤3min

响应时间:≤1.0s

检漏口的压力:1000Pa

机械泵抽速:4L/s

电源要求:220V,50Hz,单相,10A

工作环境:0-40℃

相对湿度:≤80%

外形尺寸:550(W)Í420(D)Í700(H)

重量:65kg

 

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