1.台式匀胶机旋涂仪产品简介
WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发完成,具有独立知识产权。
匀胶机快速启动和稳定的转速,能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制,三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶,之后切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调;实现启停可控,转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮,当进行高速运转时,关上上盖后,“安全开关”启动,运行过程中,上盖不能打开。可以起到保护作用。
2.台式匀胶机旋涂仪技术参数
² 转速:300-4500RPM
² 时间控制:1--32767s
² 转速稳定性:±1%
² 胶的均匀性:±3%
² 参数设定:触摸屏设置参数
² 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶
² 电源输入:AC220V±10V,50HZ
² 功率:60W
² 重量:13kg
² 外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D)
² 工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80%
3.台式匀胶机旋涂仪特征图解
①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④专用吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关
注:清点包装箱内的附件和印刷资料,箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。