高纯氩色谱分析仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。高纯氩气专用色谱仪配备氩离子化(AID)检测器，采用带吹扫保护气路的六通或十通阀。上述部分与纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体及解决方案。
高纯氩色谱分析仪的性能特点
1.采用4.3英寸触屏液晶中文显示，各路温度、操作条件实时显示，完美实现在线监控；
2.开机自检，五路独立控温；
3.任一路传感器断路，仪器自动显示报警；
4.高精度双重稳定气路，最多可同时安装四种检测器；
5.四路外部事件功能支持多阀切换；
6.可选配电子流量压力显示系统及内置工作站装置；
高纯氩色谱分析仪的技术指标
开机稳定时间：＜1小时
控温精度：±0.1℃
基线噪音：≤0.03mv
基线漂移：≤0.2mv/30min
氩离子化检测器（AID）：
1.检测目标：高纯氩中杂质
2.检测限：0.05ppm（以氮计）
3.线性范围：102
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高纯氩色谱分析仪组分检测限(ppm) |
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组分 |
H2 |
02 |
N2 |
CH4 |
CO |
CO2 |
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检测限 |
≤1 |
≤10 |
≤10 |
≤5 |
≤25 |
≤5 |
高纯氩中气体杂质的测定谱图
高纯氩色谱分析仪
载气纯化器：
控温范围：室温+5℃～500℃
控温精度：±0.2℃
可纯化气体：惰性气体
最大操作压力：5Mpa
去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O等
残留浓度：≤20ppb
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