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1、硅料固体:液体蒸馏回收四氯化硅料提纯多晶硅料生产线生产的四个四氯化硅料气体，纯气体四氯化硅料在四个无填料喷雾吸收塔通过化学反应，二氧化硅料和氯化氢生成的固体形状，二氧化硅料固体形状到过滤设备和干燥设备，干燥硅料硅料处理包装进店，二氧化硅料固体恢复过程。
2、四种气态四氯化硅料盐酸复苏纯化学反应发生在无填料喷雾吸收塔，生成氯化氢气体，氯化氢气体在液体真空抽吸泵完成反应生成盐酸，集中的过程要求，集中存储。
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