SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目前得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列，具备良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下：
Lamps for SÜSS Equipment Lamp type Max life[h] Equipment(适用机型）
HBO 200W/DC 1000 MJB3
HBO 350W/S 600 MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000 MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
HBO 5000W/S 1000 MA300
