伺服传动机构中的齿轮Z1、Z2应该采取消隙措施,避免产生反向死区或使加工精度下降;而丝杠传动副则应该根据该单元的加工精度要求,确定是否选用滚珠丝杠副。采用滚珠丝杠副,具有传动效率高、系统刚度好、传动精度高、使用寿命长的优点,但成本较高且不能自锁。
3 数控滑台的PLC控制方法
数控滑台的控制因素主要有三个:
3.1 行程控制
一般液压滑台和机械滑台的行程控制是利用位置或压力传感器(行程开关/死挡铁)来实现;而数控滑台的行程则采用数字控制来实现。由数控滑台的结构可知,滑台的行程正比于步进电机的总转角,因此只要控制步进电机的总转角即可。由步进电机的工作原理和特性可知步进电机的总转角正比于所输入的控制脉冲个数;因此可以根据伺服机构的位移量确定PLC输出的脉冲个数:
n= DL/d (1)
式中 DL——伺服机构的位移量(mm),d ——伺服机构的脉冲当量(mm/脉冲)
MKS Mass Flow Controller 5000 SCCM, P4B004503R6T0AA, Shipsameday1616Y11
MKS Type Type 146 Vacuum Gauge Measurement, 146C-AACOM-1
MKS Mass Flow Controller Gas N2, 2000 SCCM, P4B013203R6T0AA, SHIPSAMEDAY1547D2
AMCI 2732 PLC, 10-BIT, 2-CHANNEL, 8-OUTPUTS 2-SLOT
Eaton Powerware Inverter Control , 101073072-001 Rev-NO1,
Reliance Electric PC Board Current Voltage 0-51831-5, 51831-5, Rack L L81
Reliance Electric Cardpak Summing 0-49017-16A, PKG-CPC1, Rack L L82
Kinematica 6100 Dispersing Aggregate 20 mm DIA, PT-DA20/2EC-B193
CAMCO Rotary Indexer 80RDM8H16-330 / LAIPPLE/KEB Servo Motor M63P4
Nikon MIC-ISA, 2S014-066, 2S014-066-MIC-ISA, S14002-1002A
LEYBOLD D25B Rotary vacuum pump / BALDOR MOTOR VM3546
Duolok Male Connector Alloy C-276, 1/2" tube x 1" npt, IHCD8MC16
Duolok Bulkhead union Alloy C-276, 1/2" tube, IHCD8BU, 1207N1
Duolok union elbow Alloy C-276, 1/2" tube, IHCD8UE, shipsameday 1207N2
Brooks Mass Flow Controller 80000 SCCM, SLA7851DZ80
ALLEN BRADLEY PANEL VIEW PLUS 600, 2711P-T6C20D
MKS MASS FLOW ConTROLLER 500 SCCM, HYDRO 2, 1179BX23CM1BKS168 1171BC