薄膜体声波谐振器缩写为FBAR，是近期发展起来的一种MEMS技术频率器件，主要用在射频领域，作为射频滤波器、双工器、多任务器和振荡器等。与传统声表面波器件相比，具有频率高、体积小、承受功率大、效率高、可集成化等优势。
薄膜体声波谐振器存在的杂质：
主要是去除谐振器的基压及外壳上的油污，还有尘埃的颗粒。
再则，外壳模板是依靠外壳法兰边挂住外壳转换模板定位孔边沿来实现定位的，无法翻转或较大角度倾斜，清洗污垢的话，如直接用氮气吹外壳内部里面会导致外壳被吹出。
超声波清洗机的优势之在：
可以最大程度地清除内部污染，从而避免污染影像到产品的性能。
威固特VGT-607FTA超声波清洗机对薄膜体声波谐振器的帮助，从以下内容可体现出：
一、概述：
该清洗机是专为晶体行业类的产品而设计的超声波清洗设备。整个工艺流程由PLC编程控制，可根据清洗工艺要求，灵活设置动作参数。采用全自动化运作过程，清洗效果好，溶剂保持洁净时间长，实现清洗流程的自动化作业，降低操作人员劳动强度，提高设备的生产能力和清洗效果。
二、清洗工艺流程：
自动上料——洗净超声清洗——纯水超声清洗——纯水超声波漂洗——纯水超声清洗——纯水超声清洗——纯水超声波漂洗——自动下料。
三、各槽的规格配置：
1、各清洗槽内槽尺寸：（L×W×H）260×310×230mm；
2、所有槽均采用不锈钢材料制作；
3、所有加热槽体外侧均贴有保温材料保温。
四、机械臂结构组成：
多臂型机械臂由机架、机械臂传动系统、吊臂、电气控制装置等组成。
机架：全不锈钢制作的支撑架结构，焊接在设备底盘上，以保证机械强度及机械臂的稳定性。顶部安装有水平横移导轨。
横移传动系统：采用气缸配合直线导轨传动。PLC程序控制动作。保证横移动作的相对精度和稳定性。
